山西全自动FOUP清洗机联系方式

FOUP清洗机是一种清洗foup的设备，用于清洗和处理FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）。FOUP是半导体制造过程中存放晶圆的封闭式容器。FOUP清洗机通过自动化的清洗过程，去除FOUP内外的污染物，确保晶圆的高纯度和可靠性。FOUP清洗机具备多种功能和处理能力。它能够去除FOUP内的油脂、有机物、化学物质残留和水分。清洗机采用不同的清洗方法和工艺参数，如喷淋清洗、超声波清洗、高温处理等，以适应不同类型的污染物，并确保清洗效果。清洗机具有高效、快速的特点。它能够在短时间内完成清洗过程，提高生产效率。自动化控制系统确保清洗过程的精确执行，减少人为操作的误差。FOUP清洗机注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构，确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置保障操作人员的安全。清洗机还配备直观的用户界面和操作控制面板，使操作人员能够轻松控制和监测清洗过程。清洗机还具备数据记录和追溯功能，方便对清洗过程进行监控和分析。它可记录清洗参数、时间和结果等信息，为质量控制芯梦清洗机，是您生产中的理想选择！山西全自动FOUP清洗机联系方式

FOUP清洗机特性：可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可装载于清洗篮之制品。伺服马达驱动,设有扭力侦测安全机构，防止人为误操作造成损坏及危险。具备停机自动归位功能，方便装载清洗制品。旋干制程中除IR干燥外，运用气流干燥，可加速去除较大水滴，增进干燥效果; 进而提升效率。

应用范围：该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。

分类：

全自动FOUP清洗机、半自动foup清洗机。

4寸~12寸全尺寸兼容，快速实现干进干出，30~60分钟完成1次清洗工艺节拍，更大吞吐量 青海全自动FOUP清洗机哪个好江苏芯梦为广大客户提供性能优异的高性价比生产设备，助力中国企业升级转型！

半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机

（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）

适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥

设备特点：

1、清洗对象：12寸FOUP

2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成

3、清洗能力：24只FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）

4、干进干出；

5、可与AMHS对接、可人工上料；

6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；

7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；

8、可预设多条Recipe,操作简洁；

9、选配SECS/GEM接口；

10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；

11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm

产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司，经营各类半导体清洗机，为半导体清洗机专业供应商，其中就包含FOUP清洗机。FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以实现无与比的清洗和干燥效果装载有待清洗的foup在Chambe的中转安装和固定在封的清洗室内36正反转动。由D1Wlate的表面张力、机械力进Patcdle清洗离心+热风进行供干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。设备特点：五大系统结构、纯水加热PWH、高压喷淋HPS（喷头位置/形状，可以根据客户料盒形态针对性调整）、热风烘干HAD（可选配CDA吹干和红外模式）、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。配备强大的兼容性：4寸~12寸全尺寸兼容，晶圆盒/光罩盒/弹匣/FOUP/FOSB等；30~60分钟完成1次清洗工艺，快速实现干进干出；四工位/六工位选择，依不同产品适配的装载量；配备可靠的过滤系统；EN18822-H14高等级空气过滤系统；0.1um超纯水过滤；0.003umCDA过滤。不试试怎么知道江苏芯梦半导体的设备有多好呢？

辅助功能和操作控制

触摸屏安装在前面一标准化

也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制一选项

其他特征

工艺腔室内LED灯光照明

可安装去静电装置和电阳率监测装置选项

稳定、亚光不锈钢笼子

材料的外壳一可选择符合FM4910标准

PP材料的工艺腔室一可选择符合FM4910标准

设备前面带有滑动门一标准化为手动/可选择自动

设备前面的滑动门在做维护时可完全打开

其他种类的花篮和片盒相适应的组件一选项图形化的界面

易于操作和控制

10“触摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口

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应用领域：主要应用于半导体行业《晶四制造、集成电路、先进封装，整个芯片湿法制程阶段均适用)、化合物行业、片盒制造厂;

适用于：Shipping boxes，如SEP、Integris、 Kakizaki DainichiFOSB、FOUP和其他品圆尺寸产品，可定制清洗从50mm到300mm品愿盒材料；

工作原理：本设备采用全自动方式，上料端/下料端可适配工厂自动传检线;将需要清洁的片盒放置在篮管内一传输机构依次将篮管传到一级超声清洗单元一一级喷洗单元一二级超声清洗单元一二级吗洗单元一一级干爆单元一二级干爆单元一下料单元一人工下料或对接工厂自动传输线。 山西全自动FOUP清洗机联系方式